出願人名に「株式会社ＳＥＮ」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5100963 | ビーム照射装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年12月19日 |
| 特許 5085887 | ビーム処理装置及びビーム処理方法 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年11月28日 |
| 特許 5068928 | 低エネルギービーム増大化方法及びビーム照射装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年11月 7日 |
| 特許 5042451 | ビーム空間電荷中和装置及びこれを備えたイオン注入装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年10月 3日 |
| 特許 5042515 | 真空駆動軸の真空シール機構 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年10月 3日 |
| 特許 5020547 | ビーム処理装置及びビーム処理方法 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年 9月 5日 |
| 特許 4964413 | イオンビーム／荷電粒子ビーム照射装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年 6月27日 |
| 特許 4951201 | ビーム照射方法およびビーム照射装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年 6月13日 |
| 特許 4954465 | イオンビーム／荷電粒子ビーム照射装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年 6月13日 |
| 特許 4907077 | ウエハ処理装置及びウエハ処理方法並びにイオン注入装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年 3月28日 |
| 特許 4901094 | ビーム照射装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2012年 3月21日 |
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5100963 5085887 5068928 5042451 5042515 5020547 4964413 4951201 4954465 4907077 4901094
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