出願人名に「株式会社ＳＥＮ」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5373702 | イオンビームスキャン処理装置及びイオンビームスキャン処理方法 | 株式会社ＳＥＮ | 2013年12月18日 |
| 特許 5329050 | ビーム処理装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2013年10月30日 |
| 特許 5289721 | イオン注入装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2013年 9月11日 |
| 特許 5242937 | イオン注入装置及びイオン注入方法 | 株式会社ＳＥＮ | 2013年 7月24日 |
| 特許 5214090 | ビーム偏向走査方法及びビーム偏向走査装置並びにイオン注入方法及びイオン注入装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2013年 6月19日 |
| 特許 5204421 | イオン注入装置 | 株式会社ＳＥＮ | 2013年 6月 5日 |
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5373702 5329050 5289721 5242937 5214090 5204421
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