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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第1656位 14件
(
2013年:第5661位 3件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第10386位 1件
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2013年:第25899位 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特開 2014-219577 | リソグラフィー用リンス液およびそれを用いたパターン形成方法 | 2014年11月20日 | |
| 特開 2014-211478 | リソグラフィー用現像またはリンス液およびそれを用いたパターン形成方法 | 2014年11月13日 | |
| 特開 2014-178573 | 上層膜形成用組成物およびそれを用いたレジストパターン形成方法 | 2014年 9月25日 | |
| 特開 2014-170190 | 微細レジストパターン形成用組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | 2014年 9月18日 | |
| 特開 2014-164177 | 微細レジストパターン形成用組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | 2014年 9月 8日 | |
| 特開 2014-160199 | ネガ型感光性シロキサン組成物 | 2014年 9月 4日 | |
| 特開 2014-122309 | ケイ素酸化物ナノ粒子とシルセスキオキサンポリマーとの複合体およびその製造方法、ならびにその複合体を用いて製造した複合材料 | 2014年 7月 3日 | |
| 特開 2014-122306 | 金属酸化物ナノ粒子とシルセスキオキサンポリマーとの複合体およびその製造方法、ならびにその複合体を用いて製造した複合材料 | 2014年 7月 3日 | |
| 特開 2014-119497 | 上層膜形成用組成物およびそれを用いたレジストパターン形成方法 | 2014年 6月30日 | |
| 特開 2014-106250 | ポジ型感光性シロキサン組成物 | 2014年 6月 9日 | |
| 特開 2014-103351 | シリカ質膜の形成方法及び同方法で形成されたシリカ質膜 | 2014年 6月 5日 | |
| 特開 2014-94926 | 芳香族イミド化合物及びその製造方法 | 2014年 5月22日 | |
| 特開 2014-77082 | ケイ素質緻密膜の形成方法 | 2014年 5月 1日 | |
| 特開 2014-71424 | 微細レジストパターン形成用組成物およびそれを用いたパターン形成方法 | 2014年 4月21日 |
14 件中 1-14 件を表示
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2014-219577 2014-211478 2014-178573 2014-170190 2014-164177 2014-160199 2014-122309 2014-122306 2014-119497 2014-106250 2014-103351 2014-94926 2014-77082 2014-71424
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