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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特開 2013-59831 | 研磨パッド用補助板および研磨装置 | 東邦エンジニアリング株式会社 | 2013年 4月 4日 |
特開 2013-59830 | 防浸構造を備えた研磨パッド用補助板および研磨装置 | 東邦エンジニアリング株式会社 | 2013年 4月 4日 |
特開 2013-27951 | 研磨パッド用補助板および研磨パッド用補助板を備えた研磨装置 | 東邦エンジニアリング株式会社 | 2013年 2月 7日 |
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2013-59831 2013-59830 2013-27951
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3月4日(火) - 東京 港区
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