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2014年: 0件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5826943 | 静電容量型圧力計アセンブリ | 2015年12月 2日 | |
| 特許 5795369 | 静電容量センサの改善 | 2015年10月14日 | |
| 特許 5788515 | 高速パルスガス送出のためのシステムおよびその方法 | 2015年 9月30日 | |
| 特許 5770650 | 気体のフローを制御する方法 | 2015年 8月26日 | |
| 特許 5767281 | 周波数に基づいた出力変圧器インピーダンスバランシングを有する広帯域AFT電力増幅器システム | 2015年 8月19日 | |
| 特許 5764570 | プロセス工具の多帯域の圧力を制御する方法及び制御するための装置 | 2015年 8月19日 | |
| 特許 5762749 | 冷電子増倍放出源を備える電離真空計 | 2015年 8月12日 | |
| 特許 5756810 | 真空品質測定システム | 2015年 7月29日 | |
| 特許 5728728 | 高圧力動作用に設計された動作パラメータと形状とを有する電離真空計 | 2015年 6月 3日 | |
| 特許 5711354 | クラス特性可変増幅器 | 2015年 4月30日 | |
| 特許 5695694 | プラズマ処理方法 | 2015年 4月 8日 | |
| 特許 5688494 | 静電型イオントラップ | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5688026 | 二重モードマスフロー確証及びマスフロー送給のシステム及び方法 | 2015年 3月25日 | |
| 特許 5680677 | 容量型圧力センサ | 2015年 3月 4日 | |
| 特許 5667184 | 上流体積質量流量検証システムおよび方法 | 2015年 2月12日 |
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5826943 5795369 5788515 5770650 5767281 5764570 5762749 5756810 5728728 5711354 5695694 5688494 5688026 5680677 5667184
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