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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第2110位 10件
(2015年:第1756位 13件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第1440位 14件
(2015年:第1164位 17件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6031167 | 4チャンネルガス送出システム、多チャンネルガス送出システム、および制御バルブを制御する方法 | 2016年11月24日 | |
特許 6031502 | 電離真空計および圧力測定方法 | 2016年11月24日 | |
特許 6019173 | 真空品質測定システム | 2016年11月 2日 | |
特許 5997771 | 改良された電極構造体を有する静電容量型圧力センサ | 2016年 9月28日 | |
特許 5968342 | 高速パルス・ガス・デリバリのためのシステムおよび方法 | 2016年 8月10日 | |
特許 5960122 | マルチチャンネル高周波発生器 | 2016年 8月 2日 | |
特許 5937139 | 反対称最適制御を使用する流量比率制御装置を含むガス送出方法及びシステム | 2016年 6月22日 | |
特許 5922053 | RF生成器の電力および周波数をバイモーダルで自動チューニングするためのシステムおよび方法 | 2016年 5月24日 | |
特許 5923658 | 工業用誘電体バリア放電発生器用途向けの多目的ゼロ電圧スイッチ共振インバータ | 2016年 5月24日 | |
特許 5918384 | 静電イオントラップの同調方法および装置 | 2016年 5月18日 | |
特許 5918821 | 静電型イオントラップ | 2016年 5月18日 | |
特許 5903436 | 複数流路パルスガス供給システムのための方法およびその装置 | 2016年 4月13日 | |
特許 5889900 | LCLハイパワーコンバイナ | 2016年 3月22日 | |
特許 5886970 | 4チャンネルガス送出システム | 2016年 3月16日 |
14 件中 1-14 件を表示
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6031167 6031502 6019173 5997771 5968342 5960122 5937139 5922053 5923658 5918384 5918821 5903436 5889900 5886970
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