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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第7196位 2件 (2014年: 0件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第23268位 0件 (2014年: 0件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2015-529744 | 角度選択エッチングにより支援される膜蒸着 | 2015年10月 8日 | |
特開 2015-172245 | イオンビーム成膜ツールにおけるターゲット利用率の増大のための方法 | 2015年10月 1日 |
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2015-529744 2015-172245
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