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■ 2016年 出願公開件数ランキング 第12189位 1件
(
2015年:第4198位 4件)
■ 2016年 特許取得件数ランキング 第4304位 3件
(
2015年:第23268位 0件)
(ランキング更新日:2025年12月12日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6042942 | ガス分配装置およびこれを備える基板処理装置 | 2016年12月14日 | |
| 特許 5905503 | ライナーアセンブリ及びこれを備える基板処理装置 | 2016年 4月20日 | |
| 特許 5870137 | 基板支持装置及びこれを備える基板処理装置 | 2016年 2月24日 |
3 件中 1-3 件を表示
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6042942 5905503 5870137
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