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■ 2021年 出願公開件数ランキング 第1583位 15件
(
2020年:第1158位 22件)
■ 2021年 特許取得件数ランキング 第1236位 15件
(
2020年:第2756位 5件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 6987055 | 廃ガス処理装置および方法 | 2021年12月22日 | |
| 特許 6974438 | ターボポンプ通気組立体及び方法 | 2021年12月 1日 | |
| 特許 6949937 | 制振コネクタシステム及び制振コネクタシステムを製造する方法 | 2021年10月13日 | |
| 特許 6940528 | 真空スクロールポンプ | 2021年 9月29日 | |
| 特許 6937698 | 処理ツールのモニタ | 2021年 9月22日 | |
| 特許 6924147 | 真空排気システム及びこの真空排気システムに使用されるチャネル切換弁 | 2021年 8月25日 | |
| 特許 6924178 | 液体リングポンプ | 2021年 8月25日 | |
| 特許 6925322 | 除害装置 | 2021年 8月25日 | |
| 特許 6905474 | ガス供給装置 | 2021年 7月21日 | |
| 特許 6895889 | ポンプ潤滑剤供給システム | 2021年 6月30日 | |
| 特許 6873040 | ガス処理装置 | 2021年 5月19日 | |
| 特許 6851198 | 真空システムのパイプカップリング | 2021年 3月31日 | |
| 特許 6847825 | 遠心除去分離器 | 2021年 3月24日 | |
| 特許 6839696 | 入口組立体およびその作動方法 | 2021年 3月10日 | |
| 特許 6810735 | 処理チャンバから腐食性の流出ガス流を排気する装置 | 2021年 1月 6日 |
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6987055 6974438 6949937 6940528 6937698 6924147 6924178 6925322 6905474 6895889 6873040 6851198 6847825 6839696 6810735
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