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株式会社堀場エステック

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  2019年 出願公開件数ランキング    第1020位 28件 上昇2018年:第1542位 15件)

  2019年 特許取得件数ランキング    第2101位 7件 下降2018年:第1416位 13件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特開 2019-219821 流体制御装置、及び、流量比率制御装置 2019年12月26日
特開 2019-200748 流体制御装置、及び、流量比率制御装置 2019年11月21日
特開 2019-192865 基板処理装置及び基板処理装置用プログラム 2019年10月31日
再表 2018-110545 収容タンク、その収容タンクを備えた材料気化装置及び液体材料供給装置 2019年10月24日
再表 2018-110649 液体材料供給装置、液体材料供給方法、液体供給管のパージ方法、及び、材料ガス供給システム 2019年10月24日
特開 2019-159687 流量制御装置、流量制御方法、及び、流量制御装置用プログラム 2019年 9月19日
再表 2018-79173 流体制御弁用診断装置、流体制御装置、及び流体制御弁用診断プログラム 2019年 9月12日
特開 2019-152256 流体制御弁及び流体制御装置 2019年 9月12日
特開 2019-152257 流体制御弁及び流体制御装置 2019年 9月12日
特開 2019-145047 流体制御装置、制御プログラム及び流体制御システム 2019年 8月29日
再表 2018-74208 流体制御弁、流体制御装置、及び駆動機構 2019年 8月22日
再表 2018-70287 流体センサ、当該流体センサを備えた流体制御装置、及び、調整方法 2019年 8月 8日
特開 2019-117592 校正データ作成装置及び校正データ作成方法、並びに、流量制御装置 2019年 7月18日
再表 2018-56419 元素分析装置及び元素分析方法 2019年 7月 4日
再表 2018-52074 吸光度計及び該吸光度計を用いた半導体製造装置 2019年 6月27日

32 件中 1-15 件を表示

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2019-219821 2019-200748 2019-192865 2018-110545 2018-110649 2019-159687 2018-79173 2019-152256 2019-152257 2019-145047 2018-74208 2018-70287 2019-117592 2018-56419 2018-52074

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