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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
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特許 4733923 | 3つの作動用素子を使用する2軸MEMSデバイスの作動のための方法と装置 | グリマーグラス・ネットワークス・インコーポレーテッド | 2011年 7月27日 |
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