株式会社アルバの特許出願公開一覧 2012年

出願人名に「株式会社アルバ」を含むもの

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公報番号	発明の名称	出願人	公報発行日
特開 2012-256707	マスク形成方法	株式会社アルバック	2012年12月27日
再表 2011-7652	減圧システム及び真空処理装置	株式会社アルバック	2012年12月27日
再表 2011-7830	成膜装置	株式会社アルバック	2012年12月27日
再表 2011-7831	成膜装置	株式会社アルバック	2012年12月27日
再表 2011-7832	成膜装置	株式会社アルバック	2012年12月27日
再表 2011-7834	成膜装置及び成膜方法	株式会社アルバック	2012年12月27日
特開 2012-256894	支持部材およびキャリアと支持方法	株式会社アルバック	2012年12月27日
特開 2012-253209	ドライエッチング装置及びドライエッチング方法	株式会社アルバック	2012年12月20日
特開 2012-251623	スライド弁	株式会社アルバック	2012年12月20日
特開 2012-251624	スライド弁	株式会社アルバック	2012年12月20日
再表 2011-7580	基板処理方法	株式会社アルバック	2012年12月20日
特開 2012-251193	成膜方法及び成膜装置	株式会社アルバック	2012年12月20日
特開 2012-251213	成膜装置	株式会社アルバック	2012年12月20日
特開 2012-251119	ポーラスシリカ前駆体組成物及びその作製方法、ポーラスシリカ膜及びその作製方法、並びに半導体素子	株式会社アルバック	2012年12月20日
特開 2012-248578	プラズマエッチング装置	株式会社アルバック	2012年12月13日

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2012-256707 2011-7652 2011-7830 2011-7831 2011-7832 2011-7834 2012-256894 2012-253209 2012-251623 2012-251624 2011-7580 2012-251193 2012-251213 2012-251119 2012-248578

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