株式会社アルバの特許出願公開一覧 2013年

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公報番号	発明の名称	出願人	公報発行日
特開 2013-258319	極浅接合の形成方法	株式会社アルバック	2013年12月26日
特開 2013-257528	露光装置	株式会社アルバック	2013年12月26日
特開 2013-256001	マルチノズルプレート及びその製造方法並びに静電吐出型印刷装置	株式会社アルバック	2013年12月26日
特開 2013-253298	ターゲットユニットの製造方法及びターゲットユニットの製造装置	株式会社アルバック	2013年12月19日
特開 2013-247150	プラズマ処理装置	株式会社アルバック	2013年12月 9日
特開 2013-247157	ドライエッチング装置	株式会社アルバック	2013年12月 9日
特開 2013-247161	ドライエッチング装置	株式会社アルバック	2013年12月 9日
特開 2013-247167	ドライエッチング装置	株式会社アルバック	2013年12月 9日
特開 2013-247235	基板位置算出装置、基板位置算出方法、及び、基板位置算出プログラム	株式会社アルバック	2013年12月 9日
特開 2013-245739	仕切弁	株式会社アルバック	2013年12月 9日
特開 2013-241647	スパッタリング方法	株式会社アルバック	2013年12月 5日
特開 2013-240168	直列共振型ＤＣ／ＤＣコンバータ	株式会社アルバック	2013年11月28日
特開 2013-239122	製造システムの管理装置、製造システムの管理方法、及び、製造システムの管理プログラム	株式会社アルバック	2013年11月28日
特開 2013-237913	スパッタリング装置及びスパッタリング方法	株式会社アルバック	2013年11月28日
特開 2013-237929	蒸発材料の製造方法	株式会社アルバック	2013年11月28日

434 件中 1-15 件を表示

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2013-258319 2013-257528 2013-256001 2013-253298 2013-247150 2013-247157 2013-247161 2013-247167 2013-247235 2013-245739 2013-241647 2013-240168 2013-239122 2013-237913 2013-237929

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