出願人名に「株式会社アルバ」を含むもの
| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特開 2013-258319 | 極浅接合の形成方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月26日 |
| 特開 2013-257528 | 露光装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月26日 |
| 特開 2013-256001 | マルチノズルプレート及びその製造方法並びに静電吐出型印刷装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月26日 |
| 特開 2013-253298 | ターゲットユニットの製造方法及びターゲットユニットの製造装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月19日 |
| 特開 2013-247150 | プラズマ処理装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月 9日 |
| 特開 2013-247157 | ドライエッチング装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月 9日 |
| 特開 2013-247161 | ドライエッチング装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月 9日 |
| 特開 2013-247167 | ドライエッチング装置 | 株式会社アルバック | 2013年12月 9日 |
| 特開 2013-247235 | 基板位置算出装置、基板位置算出方法、及び、基板位置算出プログラム | 株式会社アルバック | 2013年12月 9日 |
| 特開 2013-245739 | 仕切弁 | 株式会社アルバック | 2013年12月 9日 |
| 特開 2013-241647 | スパッタリング方法 | 株式会社アルバック | 2013年12月 5日 |
| 特開 2013-240168 | 直列共振型ＤＣ／ＤＣコンバータ | 株式会社アルバック | 2013年11月28日 |
| 特開 2013-239122 | 製造システムの管理装置、製造システムの管理方法、及び、製造システムの管理プログラム | 株式会社アルバック | 2013年11月28日 |
| 特開 2013-237913 | スパッタリング装置及びスパッタリング方法 | 株式会社アルバック | 2013年11月28日 |
| 特開 2013-237929 | 蒸発材料の製造方法 | 株式会社アルバック | 2013年11月28日 |
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2013-258319 2013-257528 2013-256001 2013-253298 2013-247150 2013-247157 2013-247161 2013-247167 2013-247235 2013-245739 2013-241647 2013-240168 2013-239122 2013-237913 2013-237929
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