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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5084403 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2012年11月28日 |
特許 5062964 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2012年10月31日 |
特許 5059430 | スパッタ方法及びスパッタ装置 | 株式会社大阪真空機器製作所 他 | 2012年10月24日 |
特許 5059429 | スパッタ方法及びスパッタ装置 | 株式会社大阪真空機器製作所 他 | 2012年10月24日 |
特許 4989355 | ターボ分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2012年 8月 1日 |
特許 4955088 | ポンプ装置及びそのポンプユニット | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2012年 6月20日 |
特許 4892621 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2012年 3月 7日 |
特許 4850559 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2012年 1月11日 |
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5084403 5062964 5059430 5059429 4989355 4955088 4892621 4850559
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