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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5555901 | 分子ポンプ装置の制御装置 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2014年 7月23日 |
特許 5549986 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2014年 7月16日 |
特許 5538768 | 分子ポンプの軸受放熱構造 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2014年 7月 2日 |
特許 5511915 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2014年 6月 4日 |
特許 5499378 | 分子ポンプ装置 | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2014年 5月21日 |
特許 5483684 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2014年 5月 7日 |
特許 5420323 | 分子ポンプ | 株式会社大阪真空機器製作所 | 2014年 2月19日 |
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5555901 5549986 5538768 5511915 5499378 5483684 5420323
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