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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第7099位 2件 (2010年:第3789位 5件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第1927位 11件 (2010年:第2005位 9件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4818505 | ウェーハ研磨ヘッド | 2011年11月16日 | |
特許 4796813 | 研磨パッドの貼り付け方法および研磨パッドの貼り付け用治具 | 2011年10月19日 | |
特許 4777727 | 研磨パッド貼り付け方法および研磨パッド貼り付け用治具 | 2011年 9月21日 | |
特許 4756766 | ワークの供給装置 | 2011年 8月24日 | |
特許 4663270 | 研磨装置 | 2011年 4月 6日 | |
特許 4663133 | ウェーハの貼付方法及びその装置 | 2011年 3月30日 | |
特許 4642183 | ウェーハの研磨装置 | 2011年 3月 2日 | |
特許 4642532 | 研磨装置 | 2011年 3月 2日 | |
特許 4620884 | 両面研磨装置 | 2011年 1月26日 | |
特許 4620898 | 研磨装置システム | 2011年 1月26日 | |
特許 4620919 | 研磨定盤の洗浄方法及びその洗浄装置 | 2011年 1月26日 |
11 件中 1-11 件を表示
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4818505 4796813 4777727 4756766 4663270 4663133 4642183 4642532 4620884 4620898 4620919
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