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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第3484位 5件
(2013年:第5661位 3件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第3438位 5件
(2013年:第4717位 3件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2014-132642 | ウェーハ研磨装置 | 2014年 7月17日 | 共同出願 |
特開 2014-110411 | 半導体ウェーハの製造方法 | 2014年 6月12日 | 共同出願 |
特開 2014-108511 | ウェーハ研磨ヘッドおよびウェーハ研磨装置 | 2014年 6月12日 | 共同出願 |
特開 2014-110413 | ウェーハの洗浄・乾燥装置およびウェーハの洗浄・乾燥方法 | 2014年 6月12日 | 共同出願 |
特開 2014-647 | ワーク研磨装置 | 2014年 1月 9日 |
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2014-132642 2014-110411 2014-108511 2014-110413 2014-647
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