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公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
---|---|---|---|
特許 5284939 | 固体燃料 | 株式会社クリエイティブ | 2013年 9月11日 |
特許 5285004 | 固体燃料 | 株式会社クリエイティブ | 2013年 9月11日 |
特許 5283699 | 双極型静電チャック | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2013年 9月 4日 |
特許 5283704 | 静電チャック | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2013年 9月 4日 |
特許 5283707 | 静電チャックの検査方法及び静電チャック装置 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2013年 9月 4日 |
特許 5187472 | ウエハ検査装置の載置台 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2013年 4月24日 |
特許 5186504 | 静電チャック装置におけるガス供給構造の製造方法及び静電チャック装置ガス供給構造並びに静電チャック装置 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2013年 4月17日 |
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5284939 5285004 5283699 5283704 5283707 5187472 5186504
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9月6日(土) -
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9月10日(水) - 東京 港区
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9月12日(金) -
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