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| 公報番号 | 発明の名称 | 出願人 | 公報発行日 |
|---|---|---|---|
| 特許 5500172 | 静電吸着構造体及びその製造方法 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2014年 5月21日 |
| 特許 5458323 | 静電チャック及びその製造方法 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2014年 4月 2日 |
| 特許 5435374 | 競技リング | 株式会社クリエイティブサポート | 2014年 3月 5日 |
| 特許 5387921 | 静電チャック装置及び基板の吸着状態判別方法 | 株式会社クリエイティブ テクノロジー | 2014年 1月15日 |
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5500172 5458323 5435374 5387921
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