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■ 2022年 出願公開件数ランキング 第2990位 7件
(
2021年:第33241位 0件)
■ 2022年 特許取得件数ランキング 第3717位 4件
(
2021年:第9343位 1件)
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| 公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 7196068 | エピタキシャル堆積用のリアクタの加熱方法及びエピタキシャル堆積用のリアクタ | 2022年12月26日 | |
| 特許 7082573 | 誘導加熱可能なサセプタ及びエピタキシャル堆積リアクタ | 2022年 6月 8日 | |
| 特許 7073586 | 非一様な長さ方向断面を伴う半導体材料用のエピタキシャル・リアクタのための反応チャンバおよびリアクタ | 2022年 5月23日 | |
| 特許 7061116 | 反応室外部のリフレクタを有するエピタキシャル堆積リアクタと、サセプタ及び基板を冷却する方法 | 2022年 4月27日 |
4 件中 1-4 件を表示
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7196068 7082573 7073586 7061116
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