株式会社荏原の特許出願公開一覧 2012年

出願人名に「株式会社荏原」を含むもの

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公報番号	発明の名称	出願人	公報発行日
特開 2012-256800	洗浄性能予測方法及び基板洗浄方法	株式会社荏原製作所	2012年12月27日
特開 2012-254490	研磨パッドのコンディショニング方法及び装置	株式会社荏原製作所	2012年12月27日
特開 2012-253130	基板搬送方法および基板搬送機	株式会社荏原製作所	2012年12月20日
特開 2012-253007	検査装置	株式会社荏原製作所	2012年12月20日
特開 2012-251470	真空ポンプ	株式会社荏原製作所	2012年12月20日
特開 2012-251471	真空ポンプ	株式会社荏原製作所	2012年12月20日
特開 2012-250309	研磨装置に使用される研磨パッドの研磨面を監視する方法および装置	株式会社荏原製作所	2012年12月20日
特開 2012-246865	ポンプ設備	株式会社荏原製作所	2012年12月13日
特開 2012-248564	基板洗浄方法及びロール洗浄部材	株式会社荏原製作所	2012年12月13日
特開 2012-241855	逆止弁	株式会社荏原製作所	2012年12月10日
特開 2012-232366	研磨方法	株式会社荏原製作所	2012年11月29日
特開 2012-232291	海水淡水化システムおよびエネルギー交換チャンバー	株式会社荏原製作所	2012年11月29日
特開 2012-229699	給水装置の始動方法および給水装置	株式会社荏原製作所	2012年11月22日
特開 2012-231191	研磨装置および研磨方法	株式会社荏原製作所	2012年11月22日
特開 2012-225349	回転機械装置	株式会社荏原製作所	2012年11月15日

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2012-256800 2012-254490 2012-253130 2012-253007 2012-251470 2012-251471 2012-250309 2012-246865 2012-248564 2012-241855 2012-232366 2012-232291 2012-229699 2012-231191 2012-225349

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