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セメス株式会社

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  2012年 出願公開件数ランキング    第2026位 11件 上昇2011年:第2484位 8件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第1326位 20件 上昇2011年:第1627位 14件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2012-253347 基板処理装置 2012年12月20日
特開 2012-253348 基板処理装置及び基板処理方法 2012年12月20日
特開 2012-253349 アンテナユニット、それを含む基板処理装置、及び前記装置を利用する基板処理方法 2012年12月20日
特開 2012-252336 バッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法 2012年12月20日
特開 2012-250232 基板処理設備及び基板処理方法 2012年12月20日
特開 2012-142285 可変キャパシター、プラズマインピーダンスマッチング装置、及び基板処理装置 2012年 7月26日
特開 2012-124528 スピンヘッド及び基板処理方法 2012年 6月28日
特開 2012-97356 基板処理装置及び方法 2012年 5月24日
特開 2012-45936 処理液吐出装置、洗浄ユニット及び洗浄方法 2012年 3月 8日
特開 2012-33938 スピンヘッド 2012年 2月16日
特開 2012-33961 基板加工装置 2012年 2月16日

11 件中 1-11 件を表示

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2012-253347 2012-253348 2012-253349 2012-252336 2012-250232 2012-142285 2012-124528 2012-97356 2012-45936 2012-33938 2012-33961

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