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セメス株式会社

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  2015年 出願公開件数ランキング    第11806位 1件 上昇2014年:第11848位 1件)

  2015年 特許取得件数ランキング    第2016位 8件 下降2014年:第1101位 25件)

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公報番号発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます)公報発行日備考
特許 5819879 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2015年11月24日
特許 5773316 基板処理設備及び基板処理方法 2015年 9月 2日
特許 5763710 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 2015年 8月12日
特許 5735569 基板処理装置及び基板処理方法 2015年 6月17日
特許 5733636 ノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法 2015年 6月10日
特許 5686261 基板処理装置及び基板処理方法 2015年 3月18日
特許 5671089 基板処理装置及び方法 2015年 2月18日
特許 5656149 基板処理装置及び基板処理方法 2015年 1月21日

8 件中 1-8 件を表示

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5819879 5773316 5763710 5735569 5733636 5686261 5671089 5656149

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