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■ 2015年 出願公開件数ランキング 第11806位 1件 (2014年:第11848位 1件)
■ 2015年 特許取得件数ランキング 第2016位 8件 (2014年:第1101位 25件)
(ランキング更新日:2024年11月9日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5819879 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | 2015年11月24日 | |
特許 5773316 | 基板処理設備及び基板処理方法 | 2015年 9月 2日 | |
特許 5763710 | 基板洗浄装置及び基板洗浄方法 | 2015年 8月12日 | |
特許 5735569 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2015年 6月17日 | |
特許 5733636 | ノズルユニット、基板処理装置、及び基板処理方法 | 2015年 6月10日 | |
特許 5686261 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2015年 3月18日 | |
特許 5671089 | 基板処理装置及び方法 | 2015年 2月18日 | |
特許 5656149 | 基板処理装置及び基板処理方法 | 2015年 1月21日 |
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5819879 5773316 5763710 5735569 5733636 5686261 5671089 5656149
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