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2012年:第3044位 6件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 5301796 | 化学気相成長リアクタ | 2013年 9月25日 | |
| 特許 5295344 | シリコン含有膜の選択的堆積 | 2013年 9月18日 | |
| 特許 5288707 | シリコンゲルマニウムの、平坦化及び欠陥密度を減少させる方法 | 2013年 9月11日 | |
| 特許 5280861 | 高温ALDインレットマニホールド | 2013年 9月 4日 | |
| 特許 5255054 | 熱電温度計 | 2013年 8月 7日 | |
| 特許 5189294 | オートドーピングおよび裏面堆積を減少させるための基板支持システム | 2013年 4月24日 | |
| 特許 5178913 | 熱電対 | 2013年 4月10日 | |
| 特許 5173092 | 加工室の温度制御方法、半導体加工装置及びセンサ較正方法 | 2013年 3月27日 | |
| 特許 5173140 | 電気的に活性なドープト結晶性Si含有膜の堆積方法 | 2013年 3月27日 | |
| 特許 5162674 | 膜の選択形成における反応種の別々の注入 | 2013年 3月13日 | |
| 特許 5134358 | 半導体膜の改良された堆積方法 | 2013年 1月30日 |
11 件中 1-11 件を表示
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5301796 5295344 5288707 5280861 5255054 5189294 5178913 5173092 5173140 5162674 5134358
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