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株式会社ナノシステムソリューションズ

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  2011年 出願公開件数ランキング    第7099位 2件 上昇2010年:第35941位 0件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第2899位 6件 上昇2010年:第8338位 1件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4740672 表面検査装置及び表面検査方法 2011年 8月 3日
特許 4721802 テレセントリック光学系の自動光軸補正方法、自動光軸補正テレセントリック光学装置及び露光装置 2011年 7月13日
特許 4690754 大面積マスクレス露光方法及び露光装置 2011年 6月 1日
特許 4684774 露光装置 2011年 5月18日
特許 4652155 露光装置及び露光方法 2011年 3月16日
特許 4625734 露光パターン形成方法 2011年 2月 2日

6 件中 1-6 件を表示

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4740672 4721802 4690754 4684774 4652155 4625734

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