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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第32063位 0件
(2011年:第7099位 2件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第3300位 5件
(2011年:第2899位 6件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5090662 | 球面検査方法及び球面検査装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5007070 | 露光装置 | 2012年 8月22日 | |
特許 4974267 | ウェーハ外周検査方法 | 2012年 7月11日 | |
特許 4897432 | 露光方法及び露光装置 | 2012年 3月14日 | |
特許 4866029 | ウェーハ外周検査装置 | 2012年 2月 1日 |
5 件中 1-5 件を表示
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5090662 5007070 4974267 4897432 4866029
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