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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第11791位 1件
(2011年:第3082位 6件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第2452位 8件
(2011年:第1927位 11件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5084403 | 分子ポンプ | 2012年11月28日 | |
特許 5062964 | 分子ポンプ | 2012年10月31日 | |
特許 5059430 | スパッタ方法及びスパッタ装置 | 2012年10月24日 | 共同出願 |
特許 5059429 | スパッタ方法及びスパッタ装置 | 2012年10月24日 | 共同出願 |
特許 4989355 | ターボ分子ポンプ | 2012年 8月 1日 | |
特許 4955088 | ポンプ装置及びそのポンプユニット | 2012年 6月20日 | |
特許 4892621 | 分子ポンプ | 2012年 3月 7日 | |
特許 4850559 | 分子ポンプ | 2012年 1月11日 |
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5084403 5062964 5059430 5059429 4989355 4955088 4892621 4850559
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