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キャボット マイクロエレクトロニクス コーポレイション

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  2013年 出願公開件数ランキング    第2284位 10件 下降2012年:第1466位 17件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第1187位 22件 上昇2012年:第1326位 20件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5378906 アミン含有ポリマーを用いるCMPシステムおよび方法 2013年12月25日
特許 5357021 酸化物の除去速度向上のためのガリウム及びクロムイオン 2013年12月 4日
特許 5356832 相変化合金をCMPするための方法 2013年12月 4日
特許 5314042 銅を不動態化するCMP組成物及び方法 2013年10月16日
特許 5314019 ルテニウムCMP組成物及び方法 2013年10月16日
特許 5313866 金属の除去速度を制御するためのハロゲン化物アニオン 2013年10月 9日
特許 5313900 半導体材料のCMPのための組成物と研磨方法 2013年10月 9日
特許 5313885 窒化シリコン材料を研磨するための組成物および方法 2013年10月 9日
特許 5307815 研磨パッド 2013年10月 2日
特許 5264985 改善された酸化物除去速度のためのCMP組成物 2013年 8月14日
特許 5264750 銅/ルテニウム/タンタル基板のCMP 2013年 8月14日
特許 5264493 銅/ルテニウム基材のCMP 2013年 8月14日
特許 5248861 微小孔性領域を有する磨きパッド 2013年 7月31日
特許 5249317 溶解性ペルオキソメタレート錯体を含むCMP組成物及びその使用方法 2013年 7月31日
特許 5221340 CMP用の多層研磨パッド材料 2013年 6月26日

22 件中 1-15 件を表示

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5378906 5357021 5356832 5314042 5314019 5313866 5313900 5313885 5307815 5264985 5264750 5264493 5248861 5249317 5221340

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