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ブルックス オートメーション インコーポレイテッド

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  2011年 出願公開件数ランキング    第1434位 17件 上昇2010年:第1636位 16件)

  2011年 特許取得件数ランキング    第2071位 10件 下降2010年:第2005位 9件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特表 2011-526981 クライオポンプの温度制御を行う装置および方法 2011年10月20日
特表 2011-526068 磁気スピンドル軸受を伴うロボット駆動装置 2011年 9月29日
特表 2011-522198 錫−アンチモン合金を用いた極低温真空ポンプおよびその使用方法 2011年 7月28日
特表 2011-521201 リニア駆動を利用した極低温冷凍機 2011年 7月21日
特開 2011-139098 マルチレベル基板処理装置 2011年 7月14日
特開 2011-139086 基板処理装置 2011年 7月14日
特表 2011-517766 多次元位置センサ 2011年 6月16日
特表 2011-517395 電磁推進及び誘導システムの整流 2011年 6月 2日
特表 2011-514652 チャンバ壁に一体化されたモータを伴う基板処理装置 2011年 5月 6日
特表 2011-513709 高圧力動作用に設計された動作パラメータと形状とを有する電離真空計 2011年 4月28日
特表 2011-512642 側部開口部基板キャリアおよびロードポート 2011年 4月21日
特開 2011-82532 独立多エンドエフェクタを備えた基板移送装置 2011年 4月21日
特表 2011-510600 クライオポンプのネットワーク 2011年 3月31日
特開 2011-49585 基板搬送装置及び方法 2011年 3月10日
特表 2011-508211 冷電子増倍放出源を備える電離真空計 2011年 3月10日

17 件中 1-15 件を表示

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2011-526981 2011-526068 2011-522198 2011-521201 2011-139098 2011-139086 2011-517766 2011-517395 2011-514652 2011-513709 2011-512642 2011-82532 2011-510600 2011-49585 2011-508211

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