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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第1434位 17件
(
2010年:第1636位 16件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第2071位 10件
(
2010年:第2005位 9件)
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| 公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
|---|---|---|---|
| 特許 4825396 | レティクル記憶検索システム | 2011年11月30日 | |
| 特許 4809837 | 抵抗による熱損失式圧力センサの動作方法 | 2011年11月 9日 | |
| 特許 4790985 | 独立して変更可能な一体的なロードロックを有する基板処理装置 | 2011年10月12日 | |
| 特許 4729237 | 材料搬送システム乃至方法、搬入ポートモジュール | 2011年 7月20日 | |
| 特許 4723697 | ダイレクト駆動ロボット | 2011年 7月13日 | |
| 特許 4712379 | 基板処理装置 | 2011年 6月29日 | |
| 特許 4691026 | クライオポンプ自動安全パージの一体化 | 2011年 6月 1日 | |
| 特許 4633264 | セラミック箔にギザギザをつけたプレートとガスアシストとを有する複合型ヒータ | 2011年 2月16日 | |
| 特許 4620863 | 基板処理装置、基板の移動方法、基板搬送装置及び基板処理モジュールの清掃方法 | 2011年 1月26日 | |
| 特許 4620866 | 同軸駆動軸を備えた二重アーム装置及びこれを用いた基板搬送方法 | 2011年 1月26日 |
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4825396 4809837 4790985 4729237 4723697 4712379 4691026 4633264 4620863 4620866
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11月5日(水) -
11月5日(水) -
11月6日(木) - 東京 港区
11月6日(木) - 大阪 大阪市
11月6日(木) - 大阪 大阪市
11月7日(金) -
11月7日(金) -
11月7日(金) -
11月5日(水) -
11月10日(月) - 東京 品川区
11月11日(火) - 東京 港区
11月11日(火) - 大阪 大阪市
11月11日(火) -
11月12日(水) - 東京 港区
11月12日(水) -
11月12日(水) -
11月13日(木) -
11月13日(木) -
11月13日(木) -
11月13日(木) -
11月14日(金) - 東京 品川区
11月14日(金) -
11月14日(金) - 東京 千代田区
11月14日(金) -
11月14日(金) - 東京 町田市
11月14日(金) - 大阪 大阪市
11月14日(金) -
11月14日(金) -
11月15日(土) - 神奈川 横浜市
11月10日(月) - 東京 品川区
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