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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第1015位 27件 (2010年:第1579位 17件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第948位 28件 (2010年:第1539位 13件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 4755348 | 基板のスピン洗浄・乾燥装置および洗浄・乾燥方法 | 2011年 8月24日 | |
特許 4755425 | ポ−ラスセラミック製チャックの洗浄方法およびその洗浄装置 | 2011年 8月24日 | |
特許 4751115 | 角形状基板の両面研削装置および両面研削方法 | 2011年 8月17日 | |
特許 4744250 | 角形状基板の両面研磨装置および両面研磨方法 | 2011年 8月10日 | |
特許 4732597 | 基板の研磨装置 | 2011年 7月27日 | |
特許 4732736 | デバイスウエハの真空チャックシステムおよびそれを用いてデバイスウエハ裏面を研磨する方法 | 2011年 7月27日 | |
特許 4723304 | クロスレ−ル式工作機械 | 2011年 7月13日 | |
特許 4705387 | 半導体基板の受け渡し方法およびそれに用いる搬送機器 | 2011年 6月22日 | |
特許 4694807 | 工作機械の安全扉の設置方法 | 2011年 6月 8日 | |
特許 4672829 | 研削されたウエハの洗浄・搬送方法 | 2011年 4月20日 | |
特許 4672905 | 工作機械 | 2011年 4月20日 | |
特許 4623801 | 円筒状ワ−クの研削終点検出方法および研削終点検出装置 | 2011年 2月 2日 | |
特許 4624030 | 金属工作機械の機枠およびその鋳造方法 | 2011年 2月 2日 |
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4755348 4755425 4751115 4744250 4732597 4732736 4723304 4705387 4694807 4672829 4672905 4623801 4624030
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