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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第20位 1832件 (2012年:第23位 1624件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第24位 1436件 (2012年:第30位 1020件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5353862 | 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5354472 | 投影装置 | 2013年11月27日 | |
特許 5353892 | アラインメント装置およびアラインメント方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5354395 | 転写特性計測方法、露光装置の調整方法及びデバイス製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5353945 | 画像処理装置および画像処理プログラム並びに電子カメラ | 2013年11月27日 | |
特許 5353811 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5353925 | 露光方法、露光装置、及びデバイス製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5353175 | 撮像装置 | 2013年11月27日 | |
特許 5353474 | 焦点検出装置,焦点調節装置および撮像装置 | 2013年11月27日 | |
特許 5354345 | 変倍光学系、この変倍光学系を備えた光学機器 | 2013年11月27日 | |
特許 5353408 | 照明光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5353810 | 露光装置、露光方法、並びにデバイス製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5352989 | 照明光学装置、露光装置及びデバイスの製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5353456 | 投影光学装置、露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 | 2013年11月27日 | |
特許 5353141 | プログラム、カメラ、画像処理装置、及び画像の合焦度算出方法 | 2013年11月27日 |
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5353862 5354472 5353892 5354395 5353945 5353811 5353925 5353175 5353474 5354345 5353408 5353810 5352989 5353456 5353141
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11月26日(火) -
11月26日(火) -
11月26日(火) -
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11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
11月27日(水) -
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11月28日(木) -
11月29日(金) - 東京 港区
11月29日(金) - 茨城 ひたちなか市
11月30日(土) -
12月1日(日) -
12月1日(日) -
11月25日(月) -
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