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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第27位 1289件 (2013年:第20位 1832件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第25位 1361件 (2013年:第24位 1436件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5644976 | 電子機器及び電子機器用プログラム | 2014年12月24日 | |
特許 5644827 | 露光装置、デバイス製造方法、及びクリーニング方法 | 2014年12月24日 | |
特許 5646861 | 計測装置および計測方法 | 2014年12月24日 | 共同出願 |
特許 5644804 | 露光装置及びデバイス製造方法 | 2014年12月24日 | |
特許 5644779 | 露光方法、露光装置、パターン形成方法、およびデバイス製造方法 | 2014年12月24日 | |
特許 5644921 | 照明光学装置 | 2014年12月24日 | |
特許 5644685 | 照明光学装置、露光装置、露光方法、およびデバイス製造方法 | 2014年12月24日 | |
特許 5644937 | 電子機器およびプログラム | 2014年12月24日 | |
特許 5644488 | 撮像装置 | 2014年12月24日 | |
特許 5644468 | 撮像装置および撮像装置の制御プログラム | 2014年12月24日 | |
特許 5644660 | 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 | 2014年12月24日 | |
特許 5644232 | 撮像装置 | 2014年12月24日 | |
特許 5644416 | 光学ユニット、光学系、露光装置、及びデバイスの製造方法 | 2014年12月24日 | |
特許 5644932 | 電子機器 | 2014年12月24日 | |
特許 5640732 | エンコーダ装置、駆動装置、及びロボット装置 | 2014年12月17日 |
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5644976 5644827 5646861 5644804 5644779 5644921 5644685 5644937 5644488 5644468 5644660 5644232 5644416 5644932 5640732
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