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株式会社ニコン

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  2013年 特許取得件数ランキング    第24位 1436件 上昇2012年:第30位 1020件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5353456 投影光学装置、露光装置、露光方法およびデバイス製造方法 2013年11月27日
特許 5353862 露光装置、露光方法及びデバイス製造方法 2013年11月27日
特許 5353842 光学顕微鏡システム 2013年11月27日
特許 5354362 表面検査装置 2013年11月27日
特許 5353126 撮像装置 2013年11月27日
特許 5353856 露光装置、ステージ装置、ノズル部材、及びデバイス製造方法 2013年11月27日
特許 5348618 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 2013年11月20日
特許 5348631 加工装置及び加工方法 2013年11月20日
特許 5347318 基板接合装置及び基板接合方法 2013年11月20日
特許 5344126 電子機器及び撮影装置 2013年11月20日
特許 5347783 固体撮像素子 2013年11月20日
特許 5347235 基板接合装置および基板接合方法 2013年11月20日
特許 5344061 露光装置、露光方法、及びデバイス製造方法 2013年11月20日
特許 5348629 露光装置及びデバイス製造方法 2013年11月20日
特許 5344180 位置計測システム及び位置計測方法、移動体装置、移動体駆動方法、露光装置及び露光方法、パターン形成装置、並びにデバイス製造方法 2013年11月20日

1436 件中 166-180 件を表示

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5353456 5353862 5353842 5354362 5353126 5353856 5348618 5348631 5347318 5344126 5347783 5347235 5344061 5348629 5344180

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