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■ 2011年 出願公開件数ランキング 第23位 1776件
(2010年:第20位 2330件)
■ 2011年 特許取得件数ランキング 第36位 814件
(2010年:第37位 656件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 4715525 | 多層膜反射鏡、及びEUV露光装置 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4715505 | 露光装置及びデバイス製造方法 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4714971 | 振れ補正装置及び光学機器 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4715661 | 画像再生装置、および画像再生プログラム | 2011年 7月 6日 | |
特許 4715749 | アライメント情報表示方法とそのプログラム、アライメント方法、露光方法、デバイス製造方法、表示システム、表示装置 | 2011年 7月 6日 | |
特許 4715862 | デジタルカメラ | 2011年 7月 6日 | |
特許 4717933 | 露光装置、及びデバイス製造方法 | 2011年 7月 6日 | 共同出願 |
特許 4711437 | 投影光学系、露光装置および露光方法 | 2011年 6月29日 | 共同出願 |
特許 4710952 | 研磨装置 | 2011年 6月29日 | |
特許 4710827 | アライメント条件決定方法及び装置、並びに露光方法及び装置 | 2011年 6月29日 | |
特許 4710427 | 光学素子保持装置、鏡筒及び露光装置並びにデバイスの製造方法 | 2011年 6月29日 | |
特許 4710401 | ホログラフィ光学系及び画像表示装置 | 2011年 6月29日 | |
特許 4710113 | 顕微鏡用ステージ及びこれを備えた顕微鏡 | 2011年 6月29日 | |
特許 4710611 | 露光装置及びデバイスの製造方法並びに露光方法 | 2011年 6月29日 | |
特許 4710308 | レチクル搬送装置、露光装置、及びレチクルの搬送方法 | 2011年 6月29日 |
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4715525 4715505 4714971 4715661 4715749 4715862 4717933 4711437 4710952 4710827 4710427 4710401 4710113 4710611 4710308
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