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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第20位 1832件 (2012年:第23位 1624件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第24位 1436件 (2012年:第30位 1020件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5365641 | 照明光学系、露光装置及びデバイスの製造方法 | 2013年12月11日 | |
特許 5359565 | 波形解析装置、コンピュータ実行可能な波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360188 | シャッタ装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360472 | ズームレンズ、及び、このズームレンズを備えた光学機器 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359397 | 光学部材及び光学機器 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359566 | 波形解析装置、コンピュータ実行可能な波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360191 | 撮像装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359048 | 偏芯測定装置および偏芯測定方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359624 | 回折光学素子の製造方法および製造装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360279 | 放電ランプ | 2013年12月 4日 | |
特許 5360675 | 表示素子の製造方法、及び表示素子の製造装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360379 | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359715 | 被写体追尾装置、被写体追尾方法、およびカメラ | 2013年12月 4日 | |
特許 5360529 | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360351 | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | 2013年12月 4日 |
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5365641 5359565 5360188 5360472 5359397 5359566 5360191 5359048 5359624 5360279 5360675 5360379 5359715 5360529 5360351
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12月1日(日) -
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