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株式会社ニコン

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5360078 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 2013年12月 4日
特許 5360085 ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 2013年12月 4日
特許 5359565 波形解析装置、コンピュータ実行可能な波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 2013年12月 4日
特許 5359602 撮影装置 2013年12月 4日
特許 5359343 電子カメラ 2013年12月 4日
特許 5359117 撮像装置 2013年12月 4日
特許 5359461 レーザ装置、光源装置、これらの調整方法、光照射装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 2013年12月 4日
特許 5360571 位置検査方法及び装置、露光方法及び装置、並びにインライン検査システム 2013年12月 4日
特許 5359873 基板貼り合わせ方法、位置決め方法、積層基板製造装置、位置決め装置及び露光装置 2013年12月 4日
特許 5358902 防振機能を有する変倍光学系、撮像装置 2013年12月 4日
特許 5359247 電子カメラ 2013年12月 4日
特許 5360351 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 2013年12月 4日
特許 5359150 撮像装置 2013年12月 4日
特許 5360675 表示素子の製造方法、及び表示素子の製造装置 2013年12月 4日
特許 5359110 表示装置及びそれを備えたカメラ 2013年12月 4日

1436 件中 91-105 件を表示

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5360078 5360085 5359565 5359602 5359343 5359117 5359461 5360571 5359873 5358902 5359247 5360351 5359150 5360675 5359110

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