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■ 2013年 特許取得件数ランキング 第24位 1436件 (2012年:第30位 1020件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5360078 | 露光装置、計測方法、露光方法、及びデバイス製造方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360085 | ステージ装置、露光装置、及びデバイス製造方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359565 | 波形解析装置、コンピュータ実行可能な波形解析プログラム、干渉計装置、パターン投影形状測定装置、及び波形解析方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359602 | 撮影装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359343 | 電子カメラ | 2013年12月 4日 | |
特許 5359117 | 撮像装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359461 | レーザ装置、光源装置、これらの調整方法、光照射装置、露光装置、並びにデバイス製造方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360571 | 位置検査方法及び装置、露光方法及び装置、並びにインライン検査システム | 2013年12月 4日 | |
特許 5359873 | 基板貼り合わせ方法、位置決め方法、積層基板製造装置、位置決め装置及び露光装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5358902 | 防振機能を有する変倍光学系、撮像装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359247 | 電子カメラ | 2013年12月 4日 | |
特許 5360351 | 投影光学系、露光装置、およびデバイス製造方法 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359150 | 撮像装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5360675 | 表示素子の製造方法、及び表示素子の製造装置 | 2013年12月 4日 | |
特許 5359110 | 表示装置及びそれを備えたカメラ | 2013年12月 4日 |
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5360078 5360085 5359565 5359602 5359343 5359117 5359461 5360571 5359873 5358902 5359247 5360351 5359150 5360675 5359110
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