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■ 2014年 出願公開件数ランキング 第252位 169件
(2013年:第216位 227件)
■ 2014年 特許取得件数ランキング 第209位 194件
(2013年:第243位 163件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特表 2014-523109 | レーザによる基板のダイシング及びプラズマエッチング用の多層マスク | 2014年 9月 8日 | |
特表 2014-522743 | マルチリンケージロボットを有するシステム及びマルチリンケージロボットにおいて位置アライメント及び回転アライメントを補正するための方法 | 2014年 9月 8日 | |
特表 2014-522742 | 電子デバイス製造において基板を輸送するように構成されるロボットシステム、装置及び方法 | 2014年 9月 8日 | |
特表 2014-523115 | プラズマエッチングを伴うハイブリッドガルバニックレーザスクライビングプロセスを用いたウェハダイシング | 2014年 9月 8日 | |
特表 2014-523143 | 浸漬性能の改善のためのコーティングを有する基板支持エッジリング | 2014年 9月 8日 | |
特表 2014-523106 | レーザパターニングのための一体化された光および熱遮蔽層を有する薄膜構造およびデバイス | 2014年 9月 8日 | |
特表 2014-522572 | 静電チャックの窒化アルミ誘電体の修復方法 | 2014年 9月 4日 | |
特開 2014-159637 | イットリウム含有保護皮膜による半導体処理装置の被覆方法 | 2014年 9月 4日 | |
特表 2014-522579 | ホットワイヤ化学気相堆積(HWCVD)チャンバを使用して基板の表面を洗浄する方法 | 2014年 9月 4日 | |
特表 2014-522565 | プロセスチャンバ内の複数区域ヒータの温度を制御するための方法および装置 | 2014年 9月 4日 | |
特表 2014-522573 | 誘導結合プラズマ(ICP)リアクタ用動的イオンラジカルシーブ及びイオンラジカルアパーチャ | 2014年 9月 4日 | |
特表 2014-522574 | 基板を支持および制御する装置および方法 | 2014年 9月 4日 | |
特表 2014-521829 | コーティングプロセスにおいてフレキシブル基板をパッシベーションするためのデバイスおよび方法 | 2014年 8月28日 | |
特表 2014-521210 | UV支援型の光化学堆積によるプラズマ損傷を受けた低誘電率膜の誘電体の復旧 | 2014年 8月25日 | |
特表 2014-521213 | 静電チャックアセンブリ | 2014年 8月25日 |
169 件中 61-75 件を表示
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2014-523109 2014-522743 2014-522742 2014-523115 2014-523143 2014-523106 2014-522572 2014-159637 2014-522579 2014-522565 2014-522573 2014-522574 2014-521829 2014-521210 2014-521213
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