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大日本スクリーン製造株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第118位 415件 上昇2012年:第180位 254件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第163位 256件 上昇2012年:第181位 217件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-30612 基板処理装置および基板処理方法 2013年 2月 7日
特開 2013-30690 基板処理装置、フィルタ洗浄方法、およびフィルタ洗浄装置 2013年 2月 7日
特開 2013-30677 基板処理装置、基板保持装置、および、基板保持方法 2013年 2月 7日
特開 2013-30614 膜形成方法および膜形成装置 2013年 2月 7日
特開 2013-30613 基板処理装置および基板処理方法 2013年 2月 7日
特開 2013-24592 画像検査装置および画像記録装置、並びに、画像検査方法 2013年 2月 4日
特開 2013-24843 基板検査装置および基板検査方法 2013年 2月 4日
特開 2013-26383 位置合わせ装置、位置合わせ方法、および、描画装置 2013年 2月 4日
特開 2013-26381 基板処理装置および基板処理方法 2013年 2月 4日
特開 2013-26379 基板処理装置および基板処理方法 2013年 2月 4日
特開 2013-26369 洗浄処理装置および洗浄処理方法 2013年 2月 4日
特開 2013-21178 基板処理装置 2013年 1月31日
特開 2013-21066 リン酸再生方法、リン酸再生装置および基板処理システム 2013年 1月31日
特開 2013-21263 膜剥離装置および膜剥離方法 2013年 1月31日
特開 2013-21246 基板処理装置および基板処理方法 2013年 1月31日

415 件中 391-405 件を表示

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2013-30612 2013-30690 2013-30677 2013-30614 2013-30613 2013-24592 2013-24843 2013-26383 2013-26381 2013-26379 2013-26369 2013-21178 2013-21066 2013-21263 2013-21246

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