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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第118位 415件 (2012年:第180位 254件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第163位 256件 (2012年:第181位 217件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特開 2013-21232 | 基板処理装置及びその液交換方法 | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-21208 | 基板処理方法および基板処理装置 | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-21198 | 薬液温調装置および薬液温調方法 | 2013年 1月31日 | |
特開 2013-19861 | 検査装置および検査方法 | 2013年 1月31日 | 共同出願 |
特開 2013-16665 | 制御装置、基板処理方法、基板処理システム、基板処理システムの運用方法、ロードポート制御装置及びそれを備えた基板処理システム | 2013年 1月24日 | |
特開 2013-12639 | パターン描画装置およびパターン描画方法 | 2013年 1月17日 | |
特開 2013-9007 | 基板処理装置における基板搬送方法 | 2013年 1月10日 | |
特開 2013-955 | 印刷装置 | 2013年 1月 7日 | |
特開 2013-3534 | 描画装置および描画方法 | 2013年 1月 7日 | |
特開 2013-4060 | シミュレーション装置およびプログラム | 2013年 1月 7日 |
415 件中 406-415 件を表示
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2013-21232 2013-21208 2013-21198 2013-19861 2013-16665 2013-12639 2013-9007 2013-955 2013-3534 2013-4060
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