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■ 2012年 出願公開件数ランキング 第231位 190件
(2011年:第208位 206件)
■ 2012年 特許取得件数ランキング 第243位 154件
(2011年:第261位 133件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5110071 | 検査装置 | 2012年12月26日 | |
特許 5104229 | フィラメントランプおよび該フィラメントランプを備えた光照射式加熱処理装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5103728 | 放電ランプ点灯装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5103976 | ホイルトラップ及びこのホイルトラップを用いた極端紫外光光源装置 | 2012年12月19日 | |
特許 5104107 | 帯状ワークの露光装置及び帯状ワークの露光装置におけるフォーカス調整方法 | 2012年12月19日 | |
特許 5093304 | ショートアーク型放電ランプ | 2012年12月12日 | |
特許 5093267 | 集光鏡アッセンブリおよびこの集光鏡アッセンブリを用いた極端紫外光光源装置 | 2012年12月12日 | |
特許 5093176 | エキシマランプ装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5092950 | エキシマランプ | 2012年12月 5日 | |
特許 5088159 | プラズマ発生装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5092808 | 紫外線照射ユニットおよび紫外線照射処理装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5092914 | 光照射装置 | 2012年12月 5日 | |
特許 5092700 | エキシマランプ | 2012年12月 5日 | |
特許 5083184 | エキシマランプ装置 | 2012年11月28日 | |
特許 5083240 | 光照射ユニット | 2012年11月28日 |
154 件中 1-15 件を表示
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5110071 5104229 5103728 5103976 5104107 5093304 5093267 5093176 5092950 5088159 5092808 5092914 5092700 5083184 5083240
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