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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第306位 142件
(2012年:第231位 190件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第212位 200件
(2012年:第243位 154件)
(ランキング更新日:2025年6月6日)筆頭出願人である出願のみカウントしています
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
---|---|---|---|
特許 5298792 | アライメントマークの検出方法 | 2013年 9月25日 | |
特許 5293430 | エキシマランプ | 2013年 9月18日 | |
特許 5293453 | フィラメントランプ | 2013年 9月18日 | |
特許 5293172 | 放電ランプ | 2013年 9月18日 | |
特許 5292980 | ワークステージおよびこのワークステージを使った露光装置 | 2013年 9月18日 | |
特許 5287951 | 放電ランプ用陰極 | 2013年 9月11日 | |
特許 5287737 | 偏光光照射装置 | 2013年 9月11日 | |
特許 5286802 | 光照射式加熱装置 | 2013年 9月11日 | |
特許 5287928 | エキシマランプ | 2013年 9月11日 | |
特許 5287603 | 基板搬送アーム | 2013年 9月11日 | |
特許 5278235 | ショートアーク型放電ランプ | 2013年 9月 4日 | |
特許 5278420 | ショートアーク型放電ランプ | 2013年 9月 4日 | |
特許 5278648 | エキシマランプ | 2013年 9月 4日 | |
特許 5282393 | 光照射式加熱処理装置 | 2013年 9月 4日 | |
特許 5282409 | 光照射式加熱方法及び光照射式加熱装置 | 2013年 9月 4日 |
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5298792 5293430 5293453 5293172 5292980 5287951 5287737 5286802 5287928 5287603 5278235 5278420 5278648 5282393 5282409
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