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芝浦メカトロニクス株式会社

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  2013年 出願公開件数ランキング    第512位 75件 下降2012年:第299位 142件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第361位 106件 下降2012年:第322位 112件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特開 2013-206971 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2013年10月 7日 共同出願
特開 2013-207009 EUVマスク製造方法およびEUVマスク製造装置 2013年10月 7日
特開 2013-202609 塗布液塗布装置 2013年10月 7日
特開 2013-207210 プラズマ処理装置およびプラズマ処理方法 2013年10月 7日
特開 2013-201342 被実装部品の実装装置及び実装方法 2013年10月 3日
特開 2013-197360 基板処理方法及び基板処理システム 2013年 9月30日
特開 2013-197312 減圧装置および減圧方法 2013年 9月30日 共同出願
特開 2013-191844 基板の反転装置、反転方法及び基板の処理装置 2013年 9月26日
特開 2013-187369 粘着テープの貼着装置及び貼着方法 2013年 9月19日
特開 2013-187312 半導体セルのリード線接続装置及び接続方法 2013年 9月19日
特開 2013-173118 微細気泡発生装置、微細気泡発生方法、基板処理装置、および基板処理方法 2013年 9月 5日
特開 2013-171996 半導体チップのピックアップ装置及びピックアップ方法 2013年 9月 2日
特開 2013-152207 検査装置及び検査方法 2013年 8月 8日
特開 2013-153141 基板の処理装置及び処理方法 2013年 8月 8日
特開 2013-152206 照明装置、照明方法及び検査装置 2013年 8月 8日

75 件中 16-30 件を表示

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2013-206971 2013-207009 2013-202609 2013-207210 2013-201342 2013-197360 2013-197312 2013-191844 2013-187369 2013-187312 2013-173118 2013-171996 2013-152207 2013-153141 2013-152206

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