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セメス株式会社

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  2014年 出願公開件数ランキング    第11848位 1件 下降2013年:第1065位 28件)

  2014年 特許取得件数ランキング    第1101位 25件 上昇2013年:第1328位 19件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5497127 プレート、これを有する基板温度調節装置及びこれを有する基板処理装置。 2014年 5月21日
特許 5496800 処理液の吐出ヘッドユニットおよびこれを具備した処理液の吐出装置 2014年 5月21日
特許 5472765 基板処理装置 2014年 4月16日
特許 5458363 バッファユニット、基板処理設備、及び基板処理方法 2014年 4月 2日
特許 5458314 基板処理装置及び超臨界流体排出方法 2014年 4月 2日
特許 5453641 基板処理装置及び方法 2014年 3月26日
特許 5440819 スピンヘッド及び基板処理方法 2014年 3月12日
特許 5423741 処理液吐出装置、洗浄ユニット及び洗浄方法 2014年 2月19日
特許 5397789 移送部材の速度調節方法、これを利用した基板移送方法及び基板処理装置 2014年 1月22日
特許 5387927 基板処理装置及び方法 2014年 1月15日

25 件中 16-25 件を表示

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5497127 5496800 5472765 5458363 5458314 5453641 5440819 5423741 5397789 5387927

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