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アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド

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  2012年 出願公開件数ランキング    第11791位 1件 上昇2011年:第33195位 0件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第950位 31件 上昇2011年:第1010位 26件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5071656 イオン注入システムをクリーンにするための方法 2012年11月14日
特許 5067530 MEMSベースの接触伝導型静電チャックによる処理用基板のクランプ方法 2012年11月 7日
特許 5062458 イオナイザー 2012年10月31日
特許 5057196 質量分析装置、イオン注入装置、およびイオンビームの封じ込め方法 2012年10月24日
特許 5051332 無酸素プラズマ処理における終了点の決定方法 2012年10月17日
特許 5051572 直線走査モータを用いて注入角度を調整可能にするイオンビーム注入装置用の加工物支持構造体 2012年10月17日
特許 5051581 プラズマ処理システムのためのマルチピース式のバッファープレートアセンブリ 2012年10月17日
特許 5051594 誘電体材料を処理する装置及び方法 2012年10月17日
特許 5051573 急速熱処理のためのガス冷却クランプ 2012年10月17日
特許 5041114 プラズマ処理におけるマイクロジェットによる低エネルギーイオン発生および輸送のための方法および装置 2012年10月 3日
特許 5019178 多孔性の低kの誘電体を形成するために、紫外線を利用してポロゲンを除去及び/又はキュアするプロセス 2012年 9月 5日
特許 5013247 静電四重極レンズシステム、及びこれを用いたリニア加速システム 2012年 8月29日
特許 5004052 イオンビームの中を通過してワークピースを往復移動させるための方法 2012年 8月22日
特許 5007870 共振器及び増幅器の統合システム 2012年 8月22日
特許 5007889 ビーム角度と、スキャンされるビームまたはリボンビームの平面に対して直交する発散の測定のための装置及び方法 2012年 8月22日

31 件中 1-15 件を表示

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5071656 5067530 5062458 5057196 5051332 5051572 5051581 5051594 5051573 5041114 5019178 5013247 5004052 5007870 5007889

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