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アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド

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  2012年 出願公開件数ランキング    第11791位 1件 上昇2011年:第33195位 0件)

  2012年 特許取得件数ランキング    第950位 31件 上昇2011年:第1010位 26件)

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 4998864 プラズマ処理室及びバッフル板アセンブリ 2012年 8月15日
特許 4984265 イオンビーム注入角度の較正 2012年 7月25日
特許 4974007 紫外放射光および/または真空紫外放射光を放射するための無電極ランプ 2012年 7月11日
特許 4962801 閉ループ線量制御のためにシリアル式注入装置の最終エネルギーベンド付近に配置された線量カップ 2012年 6月27日
特許 4953123 放射加熱源 2012年 6月13日
特許 4947402 導波管および質量分析装置 2012年 6月 6日
特許 4947401 イオン注入装置 2012年 6月 6日
特許 4935987 イオン注入機と共に使用するための移送装置及びその方法 2012年 5月23日
特許 4918949 熱処理炉内の漂遊放射光線の量を決定するための装置および方法 2012年 4月18日
特許 4915621 イオン注入機に用いるイオン源 2012年 4月11日
特許 4915490 イオン注入装置用の可変開口アセンブリ、ビームラインアセンブリ及びそのための制御装置 2012年 4月11日
特許 4893881 ウエハ処理システム 2012年 3月 7日
特許 4883316 イオンビーム用静電レンズ 2012年 2月22日
特許 4877555 イオンビーム中を通過してワークピースをスキャンするための往復駆動装置 2012年 2月15日
特許 4873215 プラズマ内で固体物質を検出するための材料検出システム及び半導体材料除去システム 2012年 2月 8日

31 件中 16-30 件を表示

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4998864 4984265 4974007 4962801 4953123 4947402 4947401 4935987 4918949 4915621 4915490 4893881 4883316 4877555 4873215

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