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アクセリス テクノロジーズ インコーポレーテッド

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  2013年 出願公開件数ランキング    第34895位 0件 下降2012年:第11791位 1件)

  2013年 特許取得件数ランキング    第1098位 25件 下降2012年:第950位 31件)

(ランキング更新日:2024年10月10日)筆頭出願人である出願のみカウントしています

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公報番号発明の名称公報発行日備考
特許 5206940 ウエハの配置の簡略化 2013年 6月12日
特許 5187582 ガス供給制御ループを用いるビーム電流の安定化 2013年 4月24日
特許 5181249 ビーム角度の測定方法 2013年 4月10日
特許 5168532 ビーム均一性測定システム及びその均一性検出方法 2013年 3月21日
特許 5168528 イオンビームの流れに乗った粒子を除去するためのシステムおよび方法 2013年 3月21日
特許 5163848 イオンビーム注入装置及びそのための加工物支持アセンブリ 2013年 3月13日
特許 5136764 垂直方向の急速加熱処理ユニットのエレベータチューブのための磁石支持構造 2013年 2月 6日
特許 5131576 イオン注入機における圧力補償ファクタを決定するための方法及びシステム 2013年 1月30日
特許 5120598 偏向用の加速/減速ギャップ 2013年 1月16日
特許 5115798 フォトレジストの除去速度を増加する装置及びプラズマアッシング方法 2013年 1月 9日

25 件中 16-25 件を表示

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5206940 5187582 5181249 5168532 5168528 5163848 5136764 5131576 5120598 5115798

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