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■ 2013年 出願公開件数ランキング 第1133位 26件
(2012年:第1780位 13件)
■ 2013年 特許取得件数ランキング 第987位 29件
(2012年:第1281位 21件)
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公報番号 | 発明の名称 | 公報発行日 | 備考 |
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特許 5253178 | ポンプの弁シーケンスのためのシステムおよび方法 | 2013年 7月31日 | |
特許 5241506 | ポンプの動作のためのシステムおよび方法 | 2013年 7月17日 | |
特許 5221384 | 基板キャリア | 2013年 6月26日 | |
特許 5221534 | バルブ連結管アセンブリ | 2013年 6月26日 | |
特許 5213440 | 基板容器及び基板容器用の作動サブアッセンブリ | 2013年 6月19日 | |
特許 5209648 | ディスペンスヘッド及び気泡を減少させる方法 | 2013年 6月12日 | |
特許 5201998 | 濾過モジュール | 2013年 6月 5日 | |
特許 5204204 | 流体フロー測定および比例流体フロー制御デバイス | 2013年 6月 5日 | |
特許 5191626 | 二酸化炭素を精製する方法 | 2013年 5月 8日 | |
特許 5186530 | フローモニタリングおよび制御のためのシステムおよび方法 | 2013年 4月17日 | |
特許 5185417 | クッション付きウェハー容器 | 2013年 4月17日 | |
特許 5160541 | レチクル保管庫をパージするためのシステム | 2013年 3月13日 | |
特許 5129926 | 多孔質焼結コンポジット材料 | 2013年 1月30日 | |
特許 5122484 | 衝撃吸収基板容器及びその形成方法 | 2013年 1月16日 |
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5253178 5241506 5221384 5221534 5213440 5209648 5201998 5204204 5191626 5186530 5185417 5160541 5129926 5122484
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