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■ 2017年 出願公開件数ランキング 第982位 31件
(2016年:第965位 29件)
■ 2017年 特許取得件数ランキング 第896位 24件
(2016年:第928位 24件)
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公報番号 | 発明の名称(クリックすると公報を新しいウィンドウで開きます) | 公報発行日 | 備考 |
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特許 6238996 | 光パターン化可能な軟質突出部接触面を有する静電チャック | 2017年11月29日 | |
特許 6234230 | 代替フッ化ホウ素前駆体を使用するホウ素イオン注入および注入のための大きな水素化ホウ素の形成 | 2017年11月22日 | |
特許 6230431 | 蒸発器配送アンプル | 2017年11月15日 | |
特許 6220382 | ドアに輸送用クッションが取り付けられたウェーハ容器 | 2017年10月25日 | |
特許 6214630 | ウェーハを支える交換可能なバックストップ | 2017年10月18日 | |
特許 6214881 | 流体貯蔵・計量分配容器 | 2017年10月18日 | |
特許 6208109 | イオン注入システムの性能を改善し、寿命を延ばす方法 | 2017年10月 4日 | |
特許 6203819 | ウェーハ輸送容器 | 2017年 9月27日 | |
特許 6204438 | 同位体濃縮ホウ素含有化合物、およびその製造方法と使用方法 | 2017年 9月27日 | |
特許 6157025 | 蒸発器配送アンプル及びその利用方法 | 2017年 7月 5日 | |
特許 6141380 | 強誘電性PZT膜及びその製造方法、キャパシタ、並びにFeRAMデバイス | 2017年 6月 7日 | |
特許 6133218 | 化学機械平坦化パッドコンディショナー | 2017年 5月24日 | |
特許 6133877 | B2F4製造プロセス | 2017年 5月24日 | |
特許 6133954 | ガスと蒸発材料との接触を促進するのを助ける方法及び装置 | 2017年 5月24日 | |
特許 6133959 | 銅の洗浄及び保護配合物 | 2017年 5月24日 |
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6238996 6234230 6230431 6220382 6214630 6214881 6208109 6203819 6204438 6157025 6141380 6133218 6133877 6133954 6133959
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